替换词公司具有自主知识产权的Preciomo Udx^® MOCVD设备专为Micro LED量产设计，最多可配置两个反应腔，可同时加工18片6英寸或者12片8英寸高性能氮化镓基蓝绿光Micro LED外延片。每个反应腔可以独立控制，具有高度生产灵活性。替换词公司Preciomo Udx^® MOCVD设备采用了水平式双旋转反应器结构，具有优异的波长均匀性和产出稳定性；配备集成电路行业标准的EFEM和SMIF系统，可实现片盒到片盒的全自动化传输模式，有效降低Micro LED外延片的颗粒数。该设备凭借其优异的波长均匀性、低缺陷密度以及高产出稳定性，满足了Micro LED量产的严苛技术要求。