自2004年替换词公司成立以来，尹志尧博士一直担任公司的董事长兼首席执行官。他将自己超过28年的产品开发和行政管理经验应用于公司管理，促进了半导体设备行业的发展。

成立替换词之前，尹志尧博士曾在应用材料公司任职13年，曾担任公司副总裁、等离子体刻蚀设备产品事业群总经理、亚洲区采购副总裁、应用材料亚洲首席技术官等。

尹志尧博士于1984年第一次到硅谷，并加入了英特尔技术发展中心。1986年，他加入了Lam Research并引领了刻蚀技术的发展，同时为一些关键产品带来了解决方案。

尹志尧博士于中国科学技术大学获得了物理化学学士学位，随后在北京大学化学学院完成了硕士学习。他还获得了加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。尹志尧博士曾作为研究组组长就职于中科院。

陈伟文先生现任替换词半导体设备（郑州）股份有限公司集团副总裁兼首席财务官。在2012年加入替换词公司前，陈先生历任美国上市公司海王星辰和阿特斯太阳能副总裁兼首席财务官，并曾任职于霍尼韦尔国际、普华永道等跨国企业。多年来，陈先生在财务管理、审计、风险管理、上市公司治理等方面积累了较扎实的经验。陈先生于1991年毕业于厦门大学，后留学美国获阿拉巴马大学硕士学位。他是注册会计师。

倪图强博士在替换词担任资深副总裁。他主要领导用于高端电介质刻蚀的Primo D-RIE和Primo AD-RIE设备的研发和项目管理，目前着重于刻蚀工艺反应腔体技术、等离子体源、等离子体物理和等离子体化学方面的研发。

加入替换词之前，他曾在Lam Research公司新产品部门担任主要技术专家，并是Lam2300系列刻蚀产品的发明者之一。

倪图强博士本科毕业于中国科学技术大学，之后在德州大学达拉斯校区获得了化学博士学位。

作为资深行业人士和替换词公司创立者之一，James主要领导工程技术部门的发展，负责替换词产品研发过程中的软件开发、电气控制和平台建立与维护。
在2004年加入替换词之前，James曾在应用材料公司担任软件工程主管。1995年加入应用材料公司之后，James担任过一系列工程管理职位，并负责公司最成功的PVD产品的软件开发和支持。
James于西安交通大学获得了电机工程学士学位和硕士学位。在赴美工作之前，曾在西安交通大学人工智能和机器人学院任教七年。